클린룸에 대해
현재, 클린룸은 반도체나 액정제품의 제조에는 불가결로서, 첨단기술제품의 고밀도화와 함께 반도체를 중심으로 해서 클린룸도 보다 고성능한 것을 목적으로 해서 개발되었음
미국연방규격 209E에 의하면, 클린룸이란 공기 중 부유입자를 결정된 제어값 이하에 제어된 방으로 정의됨
또한, 그 부유입자를 주로 진애(塵埃)를 대상으로 하는 IC.R(INDUSTRIAL CLEAN ROOM)과 세균을 대상으로 하는 B.C.R(BIOLOGIALLY CLEAN ROOM)로 나뉨
클린룸에서는 정밀하게 再現性있는 가공을 가능케 하는 제조설비, 이것들을 지원해 장시간에 걸쳐 온도, 습도, 기류와 함께 공기청정도를 동일조건으로 유지하는 공기조화설비가 준비되어 있는 것이 필수조건임
개요.
통상의 에어콘디셔닝으로는 방안의 공기흡입시에 진애가 들어옴. 이것을 필터로 깨끗이 할 필요가 있음. 필터는 여러 단계로 나뉘어 점점 미세한 필터를 사용해 가서, 최후의 필터는 0.1밀리크론 이상의 입자는 통하지 않게 함. 또,진애는 실내의 사람이나 장치로부터 발생하므로, 청정공기는 연속적으로 바꿔들어오는 것이 필요해 1시간당 수십회에서 수백회 바꿔들어옴이 실시되지 않으면 않됨.실내의 청정도를 클린도의 클래스로 표시함
클린도(청정도)
클린도는 실내의 공기 1입방피트 당 0.5밀리크론 이상의 입자가 몇 개 존재하고 있는가를 숫자로 표시함.
클린도는 FED-STD-209가 넓게 채용되어, 일본에서는 JISB 9920E 규격에서 규정되어 있음
예 : FED-STD-209E 클래스1 클래스10 클래스100 클래스1000 클래스10000
클린룸의 방식
클린룸의 기본적인 기류방식인 재래형의 활류방식과 층류형(層流形)의 수평(크로스프로)방식과 수직(다운프로)방식이 있음
1.재래형 – 일반적으로 잘 사용되는 방식. 클래스 1000~100000의 클린룸에 적용되며, 운영비가 다른 방식보다 낮음
2. 수평형 – 편측의 벽면에 설치된 HEPA필터로부터 층류로 수평으로 불에내어 반대측의 벽면으로부터 배기시켜 순환시킴. 클래스100을 비교적 低價에 얻을 수 있음
3. 수직형 – 천장전면에 설치된 HEPA필터로부터 수직으로 청정공기를 불어내어, 상면(床面)으로부터 순환시킴. 청정공기가 최단거리로 배기되므로, 이동시 작업자로부터의 청정도에 대응하는 영향은 적어, 클래스 1~클래스100이라는 고레벨 클린룸에는 가장 적합함
클린룸用 필름에 대해
제진(除塵)필름으로 해서 일반적으로 사용되고 있는 것으로 하여, HEPA(high efficiency particuiate air filter)가 있고, 최근에는 전자부품생산에 있어 초고성능필터 ULPA(ultra low particuiate air filter)도 사용되고 있음. 클린룸의 청정도(클래스)를 결정하는 것은 필터의 성능에 의함. 또한, 실제로 클린룸에 에어실필터가 설치되는 경우는, 중성능필터, HEPA필터, ULTRA필터 식으로, 하나의 공기의 흐름에 대응해 각종의 에어필터가 배열되는 것이 많음
클린룸 내부에서의 可動부분에 대해
클린룸 내부에서 사용되는 제조장치는 가동부분으로부터 발진(発塵)가 없게 설계하지 않으면 안됨. 사용기구의 운동기구로부터의 발진의 측정방법은 JIS B 9926에 의해 규정되어 있음. 가능하면, 운동기구의 수평왕복, 수직왕복, 회전운동은 단체(單體)운동이 바람직해, 결합된 기구는 마찰 및 振動의 발진의 원인이 됨. 또한 가동기구에 의한 외부에의 발진을 방지하기 위해, 커버나 배기기구를 장비시킬 필요가 있음. 때문에, 장치전체에 커버를 해, 배기 다크트에서 외부에 내보내는 등의 대책이 필요함. 그 외, 장치 그 자체를 클린룸벤치에 결합시키는 방법도 있음
그 외(클린룸벤치)
클린룸벤치는, 작업대의 위에 커버를 붙여 그 속에 필터를 넣어, 작업대위를 깨끗한 공기를 덮이는 방법임. 이런 클린룸 내에서 사용하면, 한층 더 클린도가 증가해 특히 고클린도를 요하는 작업에 적합함. 여기서 사용하는 필터는 HEPA, ULPA라는 고성능필터임